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从确保洁净室内相对湿度的精度而言，上述的淋水、高压喷雾、湿膜等水加湿方法其控制的精度不高，故当洁净室内相对湿度精度要求≤±10%时不采用。而采用喷干蒸汽和电热（电极）式加湿的方法。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。因此，选择干蒸汽加湿的加湿量时应考虑其喷蒸的效率。有的厂家给出的喷蒸效率为70%。
无尘洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计建成的无尘洁净房间。
每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下，就达到了国际无尘标准的A型级别。应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A型级别，这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内，这也就是业内俗称的1K级别。
在对洁净室净化工程车间进行洁净度检测时，虽然规则了空气的小采样量，但在实际工作中，咱们应在确保小采样量条件条件下，依据已有的检测设备，尽量选用大流量的尘土粒子计数器。假如取样空气用于计算大于或等于0.5um的粒径浓度，假如这些粒子不受非等动力条件的影响，则计算结果也不受影响。因此，净化车间区域内的非等动力取样仅对大于或等于0.5um粒子才有含义。
无尘车间净化工程该如何选择与维护保养呢？
1.应选择尘土性偏少的净化工程及有关设备，特别是在要留意主题活动一部分的尘土。
2.应选择浮尘之危害较小的净化工程或插口设备。
3.制造用的水、汽体、等通常是导致环境污染的缘故，故应配置过滤系统。
4.设计各设备的配备室内空间时，事前宜考虑到不容易累积微尘的构造，设计各并且以非常容易清理为标准。
5.机械泵等非常容易造成空气污染物的这种设备，应设定在洁净室外边或送风区，并改装排汽管线排气管。
6.设定排水管道线、汽体管道和电路系统时，其结构须充分考虑非常容易清理，不容易累积空气污染物。
7.制造及有关设备应按时清理，以防止微尘的沉积。
