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给出不单独设置粗抽管道、不设置高真空阀门的涡轮分子泵抽气系统，这个系统的真空室是直接通过涡轮分子泵进行粗抽的。因为系统上没有粗抽管道，所以就不存在因粗抽管道而带来的污染和切换区域不适当等问题。从结构上看，系统也变得更简单了。它没有粗抽阀、管道和冷阱，也不需要高真空阀，只需要一个电离规和一个热传导规。
每当打开真空室暴露大气时，就必须把整个系统停机，而后再重新启动。这就使得液氮冷却表面使用起来不方便，因为每当系统停机时，必须将冷却表面升温。1-检漏接口阀；2-涡轮分子泵；3-放气阀；4-电离规；5-热传导规；6-真空管路阀；7-电磁放气阀；8-机械泵。图2 不用阀门的涡轮分子泵抽气系统同时，启动涡轮分子泵和机械泵，通过涡轮分子泵进行粗抽，必须正确选配前级机械泵。
如果机械泵的抽速小，它是不能在涡轮分子泵达到很大转速以前把真空室抽到过渡区的。当出现这种情况时，电动机的过流保护电路就会把涡轮分子泵关掉。抽速大小合适、运转适当的机械真空泵应该是在涡轮分子泵达到其额定转速的75%左右时就能把真空室抽到20~200Pa，这样也可防止机械泵油的返流。大多数涡轮分子泵所设计的启动加速时间为5~10min。
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分子束外延MBE是一种晶体生长技术,首先将待成长的芯片放置在超高真空腔体中（~10-10Torr）,和将需要生长的单晶物质按元素的不同分别放在喷射炉中,当炉温升至一定温度时,炉中的材料会以原子束或分子束的形式蒸发出来,此时基板也被加热至一适当的温度,分子束射至基板时,就会与基板表面的原子结合而生长出极薄的,可薄至单原子层水平,单晶体和几种物质交替的超晶格结构.
描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.用客户案例:某大学自主搭建分子束外延与扫描隧道显微镜系统,经过爱发科推荐,采用分子泵和涡轮分子泵80并搭配美国HVA真空闸阀成功分析生长晶体表面结构。
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.
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脉冲激光沉积系统PLD客户案例：某大学电信系脉冲激光沉积系统
1.系统功能：主要用于Mn氧化物等复杂材料膜。
2.涡轮分子泵真空度要求:真空度
3.样品尺寸:6英寸
4.基片旋转,加热温度：750℃
5.膜生长控制模式:镀率/厚度/时间控制模式
真空系统配置:超高真空系统配置:涡轮分子泵400
接口:DN100CF-F
极限真空:
氮气压缩比:>1X1011涡轮分子泵80
接口:DN63CF-F
极限真空:
氮气压缩比:>1X1011隔膜泵MVP040
口径:G1/4”
极限真空:≦5mbar
抽速:2.3m3/h
涡轮分子泵抽速范围10至2700L/S,转速很高90,000rpm,极限真空很大1E-11mbar,对小分子气体具有更高的压缩比,实践证明涡轮分子泵运行时间可以达到100,000小时!分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用,推荐搭配旋片泵和干泵共同使用.更多分子泵典型应用>>
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涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜LT-STM涡轮分子泵应用于低温扫描隧道显微镜LTSTM
扫描隧道显微镜STM是根据力学中的隧道效应原理,通过探测固体表面原子中电子的隧道电流来分辨固体表面形貌的新型显微装置.低温扫描隧道显微镜LT-STM真空互联除了具有纳米分析能力外,它还可以在4到300K的温度范围内对原子和分子进行准确操作.
低温扫描隧道显微镜LT-STM具有很长的LHe保持时间,极低的漂移率和出色的稳定性dz
LT-STM系统需要在超高真空环境中进行研究,对真空度要求及其高,真空可到1E-10mbar,需要用前级泵,分子泵,离子泵,钛泵等组合使用来达到要求,同时分子泵需要低振动,低噪音,清洁无油确保超高真空的稳定性以保证晶体的生长和后期的探测分析.
某搭建LT-STM真空互联系统公司,采购5套涡轮分子泵用于给装置提供超高真空.主要技术参数如下:
抽速L/S
N2:260,H2:220,He:255,Ar:255
全转速时气体流量
mbarl/s
N2:14,H2:>14,He:20,Ar:7
压缩比
N2:>1X1011,H2:9X105
He:>1X108,Ar:>1X1011
声压水平
≤50dBA
很大功率消耗
300W
很大电流
12.5A
安装方向
任意方向
允许辐射的很大热功率
2.4W
很大允许磁场
5.5MT
转速±2%
60000min-1
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