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半导体工业用的气体统称电子气体。按其门类可分为纯气，高纯气和半导体特殊材料气体三大类。特殊材料气体主要用于外延，掺杂和蚀刻工艺；高纯气体主要用作稀释气和运载气。电子气体是特种气体的一个重要分支。电子气体按纯度等级和使用场合，可分为电子级，LSI（大规模集成电路）级，VLSI（超大规模集成电路)级和ULSI(特大规模集成电路）级。
近几年来，智研数据研究中心随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长，电子特种气体的国产化已是大势所趋。据了解，我国在国产化方面取得可喜进展：国产高纯氨改变了国外气体公司垄断市场的格局，高纯四氟化碳“有价无货”时代也宣告结束，高纯已成功打开。
电子气体主要包括：、、乙、化氢、硒化氢、、四氟化碳、化三氢、、三氯化硼、三氟甲烷、三氟化氮、、六、六氟化钨、六氟化硫、、磷烷、、、气、氨气、电子级等.
其中六氟化硫、电子级、、磷烷使用较多。
气 气 高纯气体 高纯气 气多少钱一瓶 除氦气外，也可以用于配制深水作业用的呼吸混合气。
通常，在潜水员处于深水高压环境作业时，若采用普通压缩空气供氧，不但呼吸阻力高，而且压缩空气中的氮会部分溶解在血液中，当水深在40m以下时，会产生显著的作用，在80m左右，生理机能基本丧失，人体衰竭。
由于轻氦族气体（如氦、）对人体的能力很小或完全没有能力，可以用它们来代替氮配制潜水员深海作业用呼吸混合气。-氧或氦-氧呼吸混合气由于有较低的密度和黏度，使压力易于释放，呼吸阻力减小，能有效地降低潜水员的体能消耗。对于氦-氧呼吸混合气，由于声速较高，声音频率改变大，存在深水通讯问题。再者，氦的执导率高，增加了人仃热损失率，以至于常常必须使用有效的潜水衣和呼吸气预热器。在这方面，-氧呼吸混合气比氦-氧呼吸气好，因为它具有声音畸变小和传热性差的优点。-氧呼吸混合气适用于100-300m深水作业，超过300m，的密度增大，必须使用氦-氧呼吸混合气。氦-氧呼吸气已成功地在深海潜水作业，无论水深水浅，普遍采用氦-氧呼吸混合气。为了克服各自的缺陷和不足，正在研究采用、氦、氧按不同比例配制深海潜水呼吸气的可能。
氦气在半导体、液晶面板和光纤线制造中起着重要作用，可实现零部件的快速冷却，从而提高生产率，还能控制热传递速率，以改善生产效率并减少缺陷；此外，氦气还可在生产过程中充当载运气体。
作为磁共振和超导磁体的理想冷冻气体，氦气可实现-451华氏度的深冷温度，有效获取内脏和组织的高分辨率图像。
氦气在电弧温度条件下的惰性使其成为铝、不锈钢、铜和镁合金等高导热性材料焊接的理想气体，还可用作热处理过程中的淬火气体以及熔炉气体，提升零件耐性和质量
高纯气体通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同。
例如对于氮，氢，，氦而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；
而对于氧气，纯度为99.99%即可称高纯氧；
对于碳氢化合物，纯度为99.99%的即可认为是高纯气体。
高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。