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高纯气体是指在空气中提取的氮、氧或氩等稀有气体的总含量超过99.98％的气体，主要用于电子工业和特种行业。例如：超大规模集成电路需要100多种元素的高纯度混合物；在超高真空获得和分析仪器中,则需要的干冰和高纯CO2。另外，在光导纤维的生产中也需特殊性质（如色散率小）及特定规格的高纯洁净度的氦-氖激光器所需的He、Ne混合高纯惰性气体。总之，由于这种充装量一般很小(几十到几百毫升)，所以对于这类产品的生产还没有形成规模效益的产品主要有氪、氙、六氟化硫、三氟甲烷以及一些含碳类化合物一氧化碳、二氧化碳和不饱和烃、丙二烯等产品。随着科学技术的发展对各种气体的用途越来越广，用量越来越大有些品种的小数量已达不到分析的目的因此必须将它们集中起来加工处理后再分送到各使用点以满足生产的需要
高纯氮气是指氮气的纯度达到99.999%以上的气体。它在许多领域都有重要的应用。首先，高纯氮气在电子行业中被广泛使用。在半导体制造过程中，高纯氮气用于保护和清洁半导体表面，以确保电子元件的质量和性能。它还用于制造平板显示器、光纤和集成电路等电子产品。其次，高纯氮气在行业中也有重要作用。氮气可以用于制备、的灭菌和保存，以及冷冻保存生物样本和血液制品等。此外，高纯氮气在化工工业中也有广泛应用。它可以用于气体分离、催化剂保护、惰性气体保护和防爆等方面。此外，高纯氮气还用于食品行业，如包装食品、保鲜蔬果等。总之，高纯氮气的作用非常广泛，它在电子、、化工和食品等领域中都发挥着重要作用。
超高纯气体是指在空气含量上，氧气低于2.8%，氢气在30Pa以下。其主要应用于电子、光学与食品工业制作领域，尤其是半导体行业不可缺少的原料。主要用于各种高精度和高可靠性的电子产品中作为生产和高质量的产品测试材料,以保证元器件的高可靠性及成品板卡的无缺陷率;的光电器件、印刷电路版生产工艺中使用;在激光技术中也用作光敏三极管的曝光剂等；还可用于超深海潜水器的研究,因为这些设备需要在高压下工作且不会发生减压病危险；同时它也广泛应用于航天工程人造对地观测系统中作关键性特种用途如：用于红外/紫外探测管外腔中的保护气氛等方面.
