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环保质量流量控制器选型用于对于气体或者液体的质量流量进行测量和控制。扩散,氧化,分子束外延,CVD,等离子刻蚀,溅射,离子注入,以及真空镀膜设备,光纤熔炼,微反应装置,混气配气系统,毛细管测量气象色谱仪,光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金,制药等。特点:精度高,重复性好。
质量流量计是一种准确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。热式流量开关热导式流量开关。质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产生一个气压降,即压差。
环保质量流量控制器选型检查出现偏差方法:
1、零点是否有漂移,首先需接通电源,质量流量控制器信号为0的情况下,则需要用万网表测一下输出信号值以及看一下电源控制器的反馈信号;
2、气体是否纯净,如果盘路有污染,那么流量就肯定会收到影响,这个时候可以用高纯N2多次清扫,如果还是不能解决则需要找维修点接受A/S;
3、质量流量控制器前端压力是否发到标定压力,如果质量流量控制器的压力不够就会出现达不到标定量程。
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环保质量流量控制器选型的日常维护注意事项
在智能气体涡轮流量计中,涡轮高速转动,叶片及轴承容易磨损,需要定期校验,其润滑十分重要。应加强流量计的管理维护,及时给流量计补充润滑油,减小流量计的磨损,提高测量精度。
无润滑性,若含有少量油污和固体颗粒物,容易造成轴承磨损及叶轮卡住,从而影响测量精度。应提高的洁净度,可通过过滤、脱硫、脱水,除去中的固体颗粒物、油污、水分及腐蚀性成分。
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质量流量计的安全使用要素
1、质量流量计准确度高,其价格也很高,这就要求对其精心维护,如给其配备高质量的稳压电源,对现场的振动及使用条件进行经常检查等,以保证准确度及仪表的安全。
2、流量计应用的成功与否,与安装有直接关系。除正常安装要求外,要特别注意减少振动影响,因为质量流量计是基于振动原理工作的,外加振动会引入干扰。但尽可能小的外界干扰对准确测量无疑是有益的,所以对来自管线及现场环境的振动要尽量设法避免。
3、仪表使用过程中在使用条件下有必要进行准确的零点标定,质量流量计属于在线使用的高准确度测量仪表,零点的漂移对测量结果有影响,长期使用时一定要定期进行标定。
4、一定要避免超过使用仪表范围的情况发生,这会引起仪表测量准确度的下降,严重时会导致仪表损坏。例如由于超过仪表使用温度范围的蒸汽扫线等操作,将会使检测线圈损坏而使仪表无法再使用。
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