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大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超
长春装修实验室_辽宁乐金建设公司_可老好了_主要是为了除去人身体上所附着的尘埃颗粒，他要达到的效果就是剥离粒子；送风机主要是将空气进行洁净的循环。采用的是高静压送风机，主要是在喷气和空气循环的时候使用的。 一般情况下，风淋室是安装在无尘室或者无菌室的入口的地方，而且与净化车间墙板间是不可以有空隙的。如果漏气的话，就要注意设备的安装。一般对于风淋室内的装
长春装修实验室_辽宁乐金建设公司_可老好了_统的正常运行。有关部门也应组织专家及技术人员制定相关的行业标准，对回风过滤器的效率加以限定，以便更好地满足人们生活、工作的需要及产品生产工艺对生产环境的要求。 任何行业，若产品对生产环境要求对净化等级、温度、湿度及其严格时，恒温恒湿机组起主导作用，因此净化车间的核心设备是恒温恒湿空调机组，当然此设备占据了总价
上，即静态时，在满足室内换气次数的前提下，自控回风阀开度设定高于50％时，能通过调节送回风手阀，使室内压差接近于给定值，对一台机组控制的房间数较多时，须在调试中特别注意，因支管风量的相互影响，此调试步骤是一个反复进行，逐步逼近设定值的过程，待所有房间经测试均达到要求时，方可固定送回风手阀，再投入压差自控系统。
用压筋加强和风管内加强筋。风管制作应尽量采用联合角或转角咬口，6级以上的洁净风管不得使用按扣式咬口。咬口处镀锌层损坏的、铆钉孔处以及法兰焊接处的镀锌层损坏的必须补做防腐。风管接缝翻边裂缝处及铆钉孔四周应涂以硅胶密封。风管翻边必须平整均匀。翻边宽度及铆钉孔，法兰螺孔必须严格按规范要求进行。柔性短管必须内壁光滑，
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